Business Area

事业领域

Secondary Battery

MH(Material Handling)

Special Business

Display

是拥有1,000件以上国内外大规模项目执行实绩，并且在
全世界Display制造商中拥有90%以上交货实绩的
最具代表性事业领域，可以提供Full Turnkey(咨询、开发、设计、制作、运营、C/S)的Clean物流系统及模组、前段工程设备。

Clean Logistics System

Module Equipment

Front-end Equipment

Clean Logistics System

Module Equipment

Front-end Equipment

Front-end Equipment

正在积极开展蒸镀机及Laser等Display核心前段工程设备事业，向国内外客户提供有差别的技术力与高生产率设备/系统。

Evaporator

向多种需要有、无机物蒸镀(Evaporation)一起提供各种真空系统与蒸镀源(Organic/Metal Source, Xtal Sensor Unit)

根据客户的要求可以对应多种基板(~8.5G)
根据工程技法组织系统(Cluster or Inline Type)
拥有着具备优秀薄膜厚度均匀度以及耐久性蒸镀源(Organic & Metal Linear Source, Point Source)制作技术
提供自主开发的高性能 Xtal Sensor Unit
通过独自开发演算法体现 High Accuracy Align System
通过多年累积的技术提供稳定的真空物流系统 (提供Logistics Simulation Data)

Laser Ablation System

利用Laser的高精密 Etching, Drilling, Cutting 设备

通过调节多种波长与脉冲线宽进行选择性加工
在有机物离子化能量区域进行有机层选择 Etching
可以进行高品质 Metal 有机物 Ablation

R2P Nano Imprinter

在半导体、面板制造工程形成Nano Pattern的设备

在ATM环境下形成高纵横比的Nano Pattern
可以适用在 Wafer/Glass/Flexible Substrate 等多种基板
确保量产信赖性(拥有工程线多样的适用经验及丰富的业绩)
可以提供Imprint 设备以及 UV Resin/Master等多种方案

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